SolVisionTrường hợp ứng dụng
Tự động hóa Kiểm Tra Wafer Bán Dẫn
Phát hiện lỗi thông minh AI cho wafer silicon
Cân bằng năng suất và chất lượng của wafer silicon
Trong quá trình sản xuất, các wafer bán dẫn trải qua các quá trình như lithography, etching, phủ phim, khuếch tán và mài, và chúng phải tiếp xúc với các chất trong môi trường có thể gây ra các lỗi ảnh hưởng đến chất lượng. Laser có thể được sử dụng để sửa chữa các tế bào silicon có một số lỗi nhất định, tuy nhiên, đây là một bước kém hiệu quả đối với wafer có quá nhiều lỗi, vì chúng nên bị loại bỏ trực tiếp để tránh làm chậm quá trình sản xuất. Một quy trình kiểm tra là cần thiết để xác định các wafer bị lỗi phù hợp để sửa chữa.
Hệ thống kiểm tra truyền thống cứng nhắc
Các hệ thống truyền thống dựa trên quy tắc dễ bị ảnh hưởng bởi điều kiện ánh sáng bên ngoài và không thể phân loại hình ảnh toàn bộ khung, vì vậy các wafer bị hư hỏng nghiêm trọng không thể được loại bỏ trong giai đoạn sơ bộ. Các wafer bị lỗi cũng thường có các khiếm khuyết tinh tế rải rác ngẫu nhiên trên bề mặt, và điều này ngăn cản các hệ thống hình ảnh thông thường thiết lập các quy tắc để kiểm tra hiệu quả.
Phát hiện lỗi linh hoạt với SolVision
Được hỗ trợ bởi AI, SolVision có khả năng nhận dạng các đặc điểm của các lỗi khác nhau và xác định các wafer không đạt tiêu chuẩn. Đầu tiên, hệ thống sử dụng công cụ Phân loại để xác định xem một wafer có bị hư hỏng không thể sửa chữa hay không. Xử lý hình ảnh sau đó chia các hình ảnh quét của wafer thành các phần, và công cụ Phân đoạn kiểm tra chúng một cách kỹ lưỡng. Thông tin như đặc điểm lỗi, vị trí, kích thước và các dữ liệu khác được ghi lại để cải thiện hiệu quả của các sửa chữa sau này.
Kiểm tra AI
Mẫu vàng
Sản phẩm bị lỗi
