SolVisionCaso di Studio
Automazione dell’ispezione dei wafer semiconduttori
Rilevamento intelligente dei difetti nei wafer di silicio tramite AI
Equilibrio tra resa e qualità dei wafer di silicio
Durante la produzione, i wafer semiconduttori vengono sottoposti a processi come la litografia, l’incisione, la deposizione di film, la diffusione e la levigatura, e vengono esposti a diverse sostanze ambientali che possono causare difetti che compromettono la qualità. I laser possono essere utilizzati per riparare celle di silicio con determinati difetti, ma questo è un passaggio inefficiente nel caso di wafer troppo danneggiati, i quali è meglio scartare direttamente per non rallentare la produzione. È quindi necessario un processo di ispezione in grado di individuare i wafer difettosi che possono essere riparati.
Sistemi di ispezione tradizionali poco flessibili
I sistemi tradizionali basati su regole sono facilmente influenzati dalle condizioni di illuminazione esterne e non sono in grado di classificare immagini a pieno frame, per cui i wafer eccessivamente danneggiati non possono essere scartati in fase preliminare. Inoltre, i wafer difettosi presentano spesso imperfezioni sottili e distribuite in modo casuale sulla superficie, il che rende difficile per i sistemi di visione convenzionali impostare regole efficaci per un’ispezione accurata.
Rilevamento flessibile dei difetti con SolVision
Basato su intelligenza artificiale, SolVision è in grado di riconoscere le caratteristiche di diversi tipi di difetti e di identificare i wafer non conformi. Il sistema utilizza inizialmente lo strumento di classificazione per determinare se un wafer è danneggiato irreparabilmente. Le immagini scansionate vengono poi suddivise in sezioni tramite elaborazione delle immagini, e lo strumento di Segmentazione ispeziona accuratamente ciascuna area per rilevare eventuali difetti. Vengono registrate informazioni come le caratteristiche dei difetti, la posizione, la dimensione e altri dati utili per migliorare l’efficienza delle riparazioni successive.
Ispezione AI
Campione d’oro
Prodotto Difettoso
