SolVisionEstudio de casos
Automatización de las inspecciones de obleas de semiconductores
Detección inteligente de defectos con IA para obleas de silicio
Equilibrar el rendimiento y la calidad de las obleas de silicio
Durante la producción, las obleas semiconductoras se someten a procesos como la litografía, el grabado, la deposición de la película, la difusión y la molienda, y están expuestas a diferentes sustancias en el medio ambiente que pueden causar defectos que afecten a la calidad. Los láseres se pueden usar para reparar celdas de silicio con ciertos defectos, sin embargo, este es un paso ineficiente para obleas con demasiados defectos, ya que es mejor eliminarlas directamente para evitar que se ralenticen producción. Es necesario un proceso de inspección para localizar las obleas defectuosas adecuadas para la reparación.
Sistemas de inspección tradicionales rígidos
Los sistemas tradicionales basados en reglas se ven fácilmente influenciados por las condiciones de iluminación externa y no pueden clasificar las imágenes de fotograma completo, por lo que las obleas excesivamente dañadas no se pueden eliminar en el Etapa preliminar. Las obleas defectuosas también suelen tener defectos sutiles dispersos aleatoriamente en la superficie, y esto impide que los sistemas de visión convencionales establezcan reglas para inspecciones eficientes.
Detección flexible de defectos con SolVision
Impulsado por IA, SolVision es capaz de reconocer las características de diferentes defectos e identificar obleas de calidad inferior. En primer lugar, el sistema utiliza la herramienta Clasificación para determinar si una oblea se ha dañado sin posibilidad de reparación. A continuación, el procesamiento de imágenes divide las imágenes escaneadas de las obleas en secciones, y la herramienta Segmentación las inspecciona minuciosamente en busca de defectos. Se registra información como las características del defecto, la ubicación, el tamaño y otros datos para mejorar la eficiencia de las reparaciones posteriores.
Inspección de IA
Muestra Dorada
Producto defectuoso
