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晶圓檢測
晶圓不良品分類及瑕疵定位自動化解決方案
傳統光學檢測無法針對全幅影像進行分類,故無法於第一階段汰除瑕疵過多的晶圓。應用SolVision AI影像平台技術辨識瑕疵特徵。首先判斷晶圓是否具有過多瑕疵,汰除無法修復的不良品。其次運用影像處理技術分割晶圓影像,並以工具偵測瑕疵,記錄其特徵、坐標、面積等資訊,大幅提升後續修補的效率。
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