SolVision導入事例
ウェハーダイシングにおける欠け欠陥の検出
AIによる半導体ダイの品質管理
半導体ウェハーのサイズ削減
ウェハーの切断は、ウェハーを個々のダイに分割し、後続の処理を行うための工程です。現代の電子機器は、より薄く、小さく、軽いウェハーを必要とするため、縮小されたウェハーチップは、より精密な切断プロセスが求められます。切断経路は狭くなり、シリコン結晶はより脆くなり、切断による損傷が増加します。
ダイエッジ割れの予測不能性
ウェハーダイシング中に生じた割れたエッジは、ウェハーの強度を損ないます。深刻な場合、後続の生産プロセスでチップに応力が加わった際に破損する可能性があります。ひび割れの位置、サイズ、および形状は毎回異なり、従来の光学検査ではこのような予測不可能な欠陥を正確に識別することは困難です。
AIを用いたパッケージングの基礎固め
優れた認識能力を提供するSolVisionは、画像処理を通じてウェハーを検査し、生産欠陥を認識できるAIモデルをトレーニングできます。このシステムにより、さまざまな形状の欠けたエッジをリアルタイムで自動的に検出して位置を特定できるため、後のパッケージングプロセスでの破損の可能性を大幅に低減します。
AI検査
割れたエッジ