pink green and blue square pattern

SolVision成功案例

晶片承載盤檢測解決方案

自動化承載盤AI瑕疵檢測

半導體加工良率關鍵:晶片承載盤的穩定與定位

晶片承載盤(IC Tray)是半導體加工製程的關鍵要素,其形式及材質根據不同應用環境而有不同設計。除了晶片儲存的安全及穩定性外,其定位與拾取點亦須與製程中各式饋送機制(feed mechanisms)精準搭配。因此,晶片承載盤品質可謂是左右製程自動化成敗的關鍵。

AOI檢測缺點:複雜背景下的細微瑕疵

晶片承載盤的輪廓與定位孔點常因作業溫度或長期使用造成缺口、翹曲等瑕疵,過去多透過光學檢測方式予以檢查。然而由於承載盤樣式複雜、瑕疵過於細微且隨機,不易透過傳統光學檢測檢出並定位瑕疵,嚴重影響產品良率及生產效率。

機器視覺結合AI,成功克服檢測時的複雜背景

運用SolVision AI影像平台的Segmentation技術執行缺陷檢測(Defect Identification),在複雜的取像背景中偵測並標註多樣細微瑕疵,以利使用者即時監測並排除承載盤異常情形。

IC Tray盤檢測案例

完整檢品

Original

IC Tray盤檢測案例

Result

IC Tray盤檢測案例

完整檢品

Original

IC Tray盤檢測案例

Result

IC Tray盤檢測案例

定位孔缺口及邊框瑕疵

Original

IC Tray盤檢測案例

Result

IC Tray盤檢測案例

邊框瑕疵

Original

IC Tray盤檢測案例

Result

IC Tray盤檢測案例